特氣管道（氫氣）氦質譜檢漏

半導體工廠特氣管道（氫氣）氦質譜檢漏

      合肥某半導體廠的特氣管道中有大量工藝氫氣管道，特點是管道長度較長且連接處眾多。為了防止氫氣在運輸過程中泄露造成的經濟損失和安全隱患，對氫氣管路進行氦檢漏非常有必要。

     本項目采用安徽歌博品牌的A530型氦質譜檢漏儀，使用負壓噴氦法檢漏。具體檢測方法是：因管路較長且管徑較細，將氫氣管路分段密封好，然后對管路抽真空。抽真空時需檢測抽空接口的密封性是否良好。當氦檢儀所顯示的本底值達到要求后，逐段在管路表面噴吹氦氣，觀察氦檢儀的讀數是否上升，如果讀數上升意味著有管路有漏，對泄露處進行修補后繼續進行檢測。直至所有管路檢查完畢。