校準電離真空計時,應注意以下六點:

(1)一般情況下,規管和系統連接時,先將未開封的規管和測量電路連接到一起試一下,檢查規管是否正常,然后再接到系統。

(2)在校準的過程中,如果出現故障,在原因不明的情況下,拿一支未開封的規管試一下,判斷是規管的問題,還是電路的問題。如果換上未開封的規管一切正常,說明原規管有問題;如果換上未開封的規管仍然不正常,說明電路有問題,這樣就縮小了故障的范圍。

(3)規管安裝時應豎直安裝,否則在加熱除氣,烘烤時柵極和陰極產生變形,相對位置變化,將會嚴重影響測量精度。

(4)在開燈絲前,判斷被測真空系統中的真空度確信小于10-1Pa時,才能開燈絲,否則真空度太低,導致規管陰極氧化而燒毀。

(5)在讀數之前,應先調整好發射電流、零點及滿度。具體步驟是: 發射電流—零點—滿度—發射電流。

(6)電離真空計只需要加電預熱10分鐘就可以校準了。