確定泄漏點型不僅是氦質譜檢漏儀確定待檢零件的具體泄漏點或泄漏孔位置，而且在大型零件或大型零件中也很常見，如衛星、導彈體、彈頭、燃氣管道、儲氣罐、油罐、鍋爐等。

1、噴氦法

這是用于檢測待連接到儀器的設備相對較小部分的最常用方法，在良好真空后，使用噴槍在被測設備可能存在泄漏的地方（例如密封接頭、焊縫等）噴射氦氣。如果被測設備的一個部分存在泄漏，當氦氣噴射到泄漏處時，氦氣立即被吸入真空系統，當氣體分散到質譜儀室中時，氦氣泄漏檢測器的輸出將立即響應。以這種方式，應當注意，氦是一種輕惰性氣體，在被噴射后自動上升，為了準確地將氦噴射到泄漏孔中，應當從上到下和從近到遠（相對于檢漏器位置）噴射氦。此外，泄漏孔與質譜儀室的反應時間不同，因此，氦注入應從靠近檢漏儀的一側開始，并從近到遠進行。當檢測較大的零件時，使用機械泵進行真空預抽可以提高泄漏檢測的效率和時間，當有許多密封和焊縫并且它們擠在一個小容器中時，由于氦注入后的快速擴散，不容易準確確定泄漏位置，因此我們應該從不同角度噴射氦，仔細觀察反應時間和泄漏的差異，發現用真空密封泥漿臨時密封，等等，可以將泄漏孔一個接一個地出來。

2、吸氦法

吸氦法主要用于檢查一些大型密封容器。例如，彈體、彈頭、氣罐、油箱等，首先將容器抽真空，然后填充氦氣（為了節省氦氣量，可以使用低濃度氦氣），將橡膠管連接到氦質譜檢漏儀的入口法蘭，橡膠管的前端設有一個直徑非常小的毛細管，使毛細管在焊縫和待檢充氦容器外壁的密封接頭等處移動，如果容器發生泄漏，泄漏的氦氣將被吸入毛細管，檢漏儀將作出響應。

二、測定漏率型

測定漏率型主要用于檢測密封要求嚴格的零件，如航天器、火箭液體燃料儲罐、衛星、電子元件等。該方法只能檢測試件的泄漏率，不能確定泄漏孔的位置和數量。充氦法也稱為負壓法 ，一個密閉的氣室將真空泵和氦氣罐連接在一起。將受檢零件放置在腔室中，并關閉氦氣罐閥。機械泵首先將腔室抽真空，然后關閉真空泵閥，打開氦氣罐閥，用氦氣填充腔室，并讓其靜置一段時間。如果被氦氣包圍的小型設備發生泄漏，氦氣將緩慢地填充到設備中。然后打開腔室，移除裝置，并使用壓縮空氣吹走可能吸附在外表面上的任何氦。然后將這些裝置逐個（或成組）放置在與檢漏器入口法蘭相連的容器中。容器排空，節氣門打開，泄漏檢測器將給出泄漏率響應。衛星的整體泄漏檢測就是使用的這種方法，衛星以這種方式放置在大型環形模具室中，并且使用環形模具設備的真空系統將環形模具抽真空。首先，用輔助泵對環形模具進行粗加工和預抽，在檢漏中，首先用機械泵將衛星和充氣管抽入真空，然后將氦氣充入衛星，根據衛星工作的壓力保持壓力，最后打開氦質譜檢漏儀的標準檢漏校準儀，可以直接測量衛星的泄漏率。