氦質譜檢漏儀在繼電器中的應用

       隨著航天技術的發展，走漏問題已經成為航天產品設計和制造的關鍵因素，越來越受到各方的重視。相關電子元件的走漏檢測引起了研究者的重視?，F在，漏電檢測技術首要應用于密封繼電器和集成電路外殼。氦質譜檢漏儀可以方便地測量密封繼電器的走漏率。根據不同的產品，選用合適的檢漏辦法。

繼電器背壓法氦檢

現在密封繼電器走漏率檢測首要是GJB360A-96的112實驗程序。本程序明確規定了密封繼電器的檢漏條件和過程。這次首要討論背壓檢漏法，歸于細節檢漏過程。

繼電器的氦質譜背壓法檢漏辦法一般分為三步:

1.加氦壓:將被測繼電器放入充有氦氣的壓力罐中；

2.凈化:將繼電器從壓力罐中取出，用氮氣或氣流吹掃吸附在繼電器表面的氦氣。

3.檢漏:將繼電器放入檢漏儀的漏箱中進行檢測。假如繼電器發生走漏，壓入腔內的氦氣會通過漏孔進入檢漏儀，漏率會顯示在儀器上。

繼電器

氦質譜檢漏儀中明確規定，挑選的加壓壓力、加壓時間和較長的停留時間，應使被檢樣品的規定走漏率大于檢漏儀較小的可檢測走漏率。因為當漏孔太大時，施加氦氣壓力時壓入的氦氣在檢漏前是在真空狀態下被抽出來的，所以檢測不到氦。