?   半導體設備真空體系出現毛病一般分為兩類：一是真空泵組及丈量體系的毛病，另一個是真空體系的走漏。關于第一類毛病，檢測真空泵的極限真空度或更換好的真空計就可以確認。關于第二類毛病則需要檢漏。在對半導體設備檢漏時常運用兩種辦法：靜壓檢漏法和氦質譜檢漏法。靜壓檢漏法就是用閥門將真空室與真空泵組隔開，丈量其內部壓強的變化。氦質譜檢漏法要復雜一些。

??氦質譜檢漏儀一般需要拿到現場去，檢漏儀內有分子泵，因此搬運時要輕拿輕放。常常選擇檢漏儀高靈敏度方式來檢漏，這有利于維護分子泵。檢漏儀的抽氣才能有限，因此常常需要設備自己抽好真空。真空抽到0.5～10Pa就行。比及漏率顯示穩定或由穩定轉成削減后再開端檢漏。