半導體設備檢漏辦法: 根據待檢漏產品特性, 可選擇真空法來檢漏, 設定好漏率值,用檢漏儀直接連接待檢漏配件, 檢漏儀將檢測配件內部的氣體抽到一定的真空度, 然后氦氣通過噴槍吹掃在部件的外表面. 可直觀定位漏點, 歌博科技A系列移動型氦質譜檢漏儀契合人體工學設計, 移動性強, 完全契合規范！