A600氟油檢漏儀由A601型氦氣氟油加壓儀和A603重氟油加熱儀組成是專門針對半導體器件、集成電路、電子產品等電子元器件進行細檢和粗檢的一套自動化檢漏裝置。該
適用于封離電子器件、半導體器件和具有內腔的微電路封裝等元件的粗檢漏。該設備是根據國標GB-2423、23-82電工電子產品基本環境實驗規程的要求設計的.設備遵循
一、 概述背壓檢漏法是在氦質譜檢漏法中應用較廣泛的方法之一,它主要用于封離電子器件、半導體器件和具有內空腔的微電路封裝等元件的氣密性檢測。A601氦氣氟油加壓儀